SF6氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時(shí)，該混合氣體在高頻電磁場(chǎng)的作用下其電離的程度也將不同，通過(guò)檢測(cè)電離度即可反映六氟化硫濃度。
儀器采用小型真空泵，探頭與主機(jī)為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、探頭不會(huì)中毒、不產(chǎn)生有毒氣體等特點(diǎn)。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器讀數(shù)更為方便準(zhǔn)確。
本儀器新增了報(bào)警設(shè)定功能，當(dāng)被測(cè)氣體濃度大于或等于設(shè)定值時(shí)，即自行發(fā)出報(bào)警聲。
HSQDL-III紅外SF6氣體檢漏儀：本設(shè)備于于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部門(mén)對(duì)充有六氟化硫設(shè)備、容器進(jìn)行檢漏，可以迅速、準(zhǔn)確地定性和定量檢測(cè)。
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