SF6氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，通過檢測電離度即可反映六氟化硫濃度。
儀器采用小型真空泵，探頭與主機為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應速度快、探頭不會中毒、不產(chǎn)生有毒氣體等特點。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器讀數(shù)更為方便準確。
本儀器新增了報警設(shè)定功能，當被測氣體濃度大于或等于設(shè)定值時，即自行發(fā)出報警聲。
HSQDL-III紅外SF6氣體檢漏儀：本設(shè)備于于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部門對充有六氟化硫設(shè)備、容器進行檢漏，可以迅速、準確地定性和定量檢測。
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